一种精准调控电流输出的检测设备及方法

本发明公开了一种精准调控电流输出的检测设备及方法，涉及电流输出调控技术领域，包括以下步骤：从光刻设备的控制系统中获取当前待刻的图案数据；对获取的图案数据进行预处理，提高图案质量；解析图案文件，提取图案的几何信息和层次结构，对几何信息和层次结构进行分析后，基于分析后的几何信息和层次结构对获取的图案进行复杂度评估。本发明通过图案数据预处理和复杂度评估，利用机器学习生成图案复杂度系数，分类后采用不同电流调控策略，一般图案使用标准频率，确保能效和设备寿命；高复杂图案通过智能系统动态调整频率，满足高精度需求。此方法提高光刻效率和精度，减少能耗和设备磨损，提升生产可靠性和经济性。