一种问题晶圆批次的排序方法、设备、介质及产品

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一种问题晶圆批次的排序方法、设备、介质及产品
申请号:CN202410946083
申请日期:2024-07-15
公开号:CN118734075A
公开日期:2024-10-01
类型:发明专利
摘要
本申请涉及信息技术领域,提供一种问题晶圆批次的排序方法、设备、介质及产品。本申请的问题晶圆批次的排序方法包括:获取当前问题晶圆批次的数据;其中,所述当前问题晶圆批次的数据包括相关性特征和属性特征;将所述当前问题晶圆批次的数据发送至训练完成的机器学习回归算法树模型中,得到当前问题晶圆批次的回归预测值;将多个所述当前问题晶圆批次的回归预测值进行排序,得到排序结果。通过上述配置方式,本申请能够提高问题晶圆批次的排序效率。
技术关键词
机器学习回归算法 排序方法 晶圆 数据 计算机程序指令 样本 超参数 加工机台 计算机程序产品 处理器 电子设备 故障检测 介质 存储器 标签 阶段
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