一种具有高效导热功能的埋置芯片结构及制备方法

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一种具有高效导热功能的埋置芯片结构及制备方法
申请号:CN202410951887
申请日期:2024-07-16
公开号:CN118738018A
公开日期:2024-10-01
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种具有高效导热功能的埋置芯片结构及制备方法,涉及半导体结构技术领域。该埋置芯片结构位于芯片结构底部的介质层设计为弯折形式,即底部弯折介质层具有多个第一弯折端和多个第二弯折端,所述第一弯折端相邻所述载板设置,所述第二弯折端远离所述载板设置,以此增加芯片结构底部介质层导热的面积,相当于降低了介质层的热阻,在满足绝缘的情况下,实现了更高效的导热。
技术关键词
高效导热功能 芯片结构 载板 平面散热结构 介质 层叠结构 线路 半导体结构技术 侧部 正面 热阻 绝缘 基板
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