一种高功率二极管及其制备方法

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一种高功率二极管及其制备方法
申请号:CN202410952636
申请日期:2024-07-16
公开号:CN118899343A
公开日期:2024-11-05
类型:发明专利
摘要
本发明涉及二极管技术领域,公开了高功率二极管及其制备方法,其中,高功率二极管包括衬底层、第一外延层、第二外延层、第一导电层以及第二导电层;第一外延层位于衬底层的一侧表面,第二外延层位于第一外延层背离衬底层的一侧表面,且第二外延层具有扩散区域,第一导电层与扩散区域电连接,第二导电层位于衬底层背离第一外延层的一侧表面,且与衬底层电连接,衬底层与第一外延层的导电类型相反,第二外延层与扩散区域的导电类型相反,且第一外延层的导电类型和第二外延储能的导电类型相反,衬底层和第一外延层之间形成PN结,扩散区域和第二外延层之间形成PN结,通过芯片结构实现了两个PN结的串联,提升了高功率二极管的功率。
技术关键词
导电杂质 外延 衬底层 高功率 导电层 二极管技术 PN结 芯片结构 隔离环 环形 通孔 储能
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