摘要
本发明提供一种多光谱原位融合探测器及其制作方法,该探测器包括可见光芯片及红外光芯片,其中,可见光芯片包括可见光像元阵列,红外光芯片连接于可见光芯片下方,红外光芯片包括红外光像元阵列,红外光像元阵列与可见光像元阵列在三维垂直空间设置对应关系,一个红外像元对应一个或多个可将光像元,以实现可见光/红外光的垂直原位融合探测。该探测器从集成方式上对可见光芯片与红外光芯片进行融合,在满足工艺兼容性的同时,能够实现复杂环境下(例如,高速运动场景)对探测目标进行全天时、动态的探测与识别效果,提升可见光/红外光融合探测的准确性与灵活性。该制作方法步骤简单,制作工艺兼容,易于规模化生产。
技术关键词
红外光
可见光
探测器
芯片
阵列
电性连接结构
原位
晶圆
多光谱
增透膜
光栅结构
图像传感器
焊盘
通孔
空腔
介质
围堰
微透镜
凹槽
格栅
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