一种硅纳米器件加工智能控制系统及方法

本发明适用于硅纳米器件加工技术领域，尤其涉及一种硅纳米器件加工智能控制系统及方法，所述方法包括：获取待加工图纸，将待加工原材料固定在夹具上；对待加工原材料进行图像采集，对待加工原材料进行定位，生成全局加工路径；对待加工图纸进行识别，确定局部加工路径，生成智能控制路径；根据智能控制路径对硅纳米器件进行图像采集，得到实时监测图像，对实时监测图像进行成品比对，判定加工是否存在误差，生成监测结果。本发明通过对图纸和原料进行图像识别，从而自动进行加工路径规划，在加工过程中，自动识别加工好的成品与图纸之间的误差，当误差过大时，自动停止，避免了由于出现误差导致的大批量残次品出现的情况。