一种PDDA-PANI/MEMS复合湿度传感器及其制备方法

本发明公开了一种PDDA‑PANI/MEMS复合湿度传感器，包括MEMS基片、PANI层和PDDA层，MEMS基片是由硅基晶圆制备的硅基微热板芯片，硅基微热板芯片的结构包括自下而上依次设置的硅基板、SiO2/SiNx支撑层、微加热器、隔离层和叉指电极层，PANI层为原位聚合在MEMS基片表面的聚苯胺层，PDDA层为通过点胶结合在PANI层表面的聚二烯丙基二甲基氯化铵层。该复合湿度传感器制备方法简单，通过在不同湿度下的PDDA与PANI的协同作用，极大提高其对水分子的吸附能力，增强其湿度敏感性能，实现了本发明复合湿度传感器在较大的相对湿度范围（14%RH～94%RH）内出色的性能表现。