一种真空沉积设备用真空腔室及其制备方法

本发明公开了一种真空沉积设备用真空腔室及其制备方法，该制备方法按照真空腔室的形状加工形成所需内衬结构，采用低温气体固态沉积的方法，在特殊氛围环境中对6061T6铝合金粉末加速撞击内衬沉积，形成低粗糙度且高强度的真空腔室，再利用碱液去除以锌材制备的内衬，得到内部中空的一体化真空腔室，提高了其使用寿命；相较于铸造焊接工艺，可以实现机械化生产，减少了人工参与，更加节省时间成本和人力成本。