摘要
本发明公开了一种带位置监测补偿的双T型双膜片压力传感器,包括基体,基体的两端分别安装膜片,基体的两端内侧粘接压力芯片、温度芯片和陶瓷填充,基体与陶瓷填充之间为油腔,基体的内部烧结若干个可伐管脚,若干个可伐管脚的一端与压力芯片的焊盘和温度芯片的焊盘连接,压力芯片连接充油路的一端,充油路的另一端安装销钉,基体的一侧安装信号处理PCB,信号处理PCB连接电气连接线的一端,电气连接线的另一端连接可伐管脚的另一端;基体的两端分别为负压端和正压端,负压端的内侧粘接负压端压力芯片、负压端温度芯片,正压端的内侧粘接正压端压力芯片、正压端温度芯片;负压端压力芯片采用表压或绝压芯片,正压端压力芯片采用差压芯片。
技术关键词
压力传感器
芯片
正压
膜片
基体
油路
管脚
信号处理
安装销钉
检测位置偏差
陶瓷
测量方法
绝压
温度校准
大气压
电气
差压
硅油
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