一种对准标记评价指标的预测方法和装置

本申请提供了一种对准标记评价指标的预测方法和装置。本申请的预测方法包括：构建训练数据集，训练数据集中至少包括：对准标记的参数信息以及对准标记的评价指标；以训练数据集中的参数信息作为输入，以训练数据集中的评价指标作为输出，对评价指标预测模型进行训练，得到训练好的评价指标预测模型；以及，将待评价的对准标记的参数信息输入至评价指标预测模型，得到待评价的对准标记的评价指标。本申请采用机器学习的方式，通过训练对准标记的评价指标预测模型来替代复杂的光学衍射模型，使训练的预测模型能够以高精度逼近对准标记的实际物理模型，以输出精度更高的对准标记评价指标。