一种连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片的制备方法

本发明公开了一种连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片的制备方法，包括如下步骤：通过飞秒激光对石英玻璃表面进行直写改性，在石英玻璃表面加工微流道改性区域；将表面改性后的石英玻璃放入高温的混合熔盐中刻蚀处理，随后置于水中煮沸至石英玻璃表面显现出微结构；将两个石英玻璃的微结构对齐并贴合，然后进行预压键合；将键合后的石英玻璃在真空条件下进行退火处理，得到连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片。本发明在石英玻璃表面进行飞秒激光直接改性，通过高温熔盐对改性区域刻蚀形成流道微结构，刻蚀选择比高达1:500以上，避免了未改性的石英玻璃表面粗糙度的增加及整体面型的改变，最后经预压键合形成微流道石英玻璃芯片，腐蚀效率高、键合良率高。