一种快速定位联合语义解释的半导体缺陷分析方法及系统

本发明公开了一种快速定位联合语义解释的半导体缺陷分析方法及系统，属于半导体缺陷分析领域。获取晶圆缺陷图像诊断数据集，包含晶圆缺陷SEM图像和诊断报告，诊断报告中包含针对多个缺陷诊断任务的句子；采用晶圆缺陷图像诊断数据集训练缺陷图像诊断网络，缺陷图像诊断网络包括FasterR‑CNN编码器和用于不同缺陷诊断任务的基于注意力机制的LSTM解码器；在缺陷图像诊断网络的训练过程中，将缺陷诊断任务的句子作为解码器的输入，引导解码器生成目标句子；利用训练后的缺陷图像诊断网络分析晶圆缺陷SEM图像，生成诊断报告。本发明在视觉和语言任务与目标检测的最新进展之间建立了更紧密的联系，输出句子的准确率得到更大提升。