摘要
本发明公开了一种微流控与化学反应芯片及其制备方法,涉及微流控与化学反应芯片领域。所述微流控与化学反应芯片及其制备方法,包括以下步骤:S1:预处理芯片基底;S2:在芯片基底的表面滴加引流液体,形成印刷液池,将芯片基底放入包括离子光学系统的真空设备内;S3:利用图形扫描控制系统操控离子光学系统,设定离子束参数,对所述印刷液池与芯片基底的接触线进行扫描,形成微流控通道,得到微流控与化学反应芯片。本发明提供的微流控与化学反应芯片及其制备方法不需要预先制备具有目标图案的掩模版,大大降低了芯片制备的时间和成本。
技术关键词
离子光学系统
芯片
离子束
扫描控制系统
基底
微流控通道
接触线
真空设备
二氰胺盐
液体
溶液
甲基
咪唑
乙基
酰亚胺
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图案
参数
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