一种碳化硅芯片加工设备及其制备方法

本发明涉及一种碳化硅芯片加工设备及其制备方法，包括机架、输送机构、加热装置、检测装置和控制器。加热装置设置有多个用于加热基板的加热区域，在沿基板的移动方向上，多个加热区域的温度逐渐增大。检测装置包括移动组件、检测组件和标记组件，检测组件和标记组件分别安装于移动组件上。当检测组件检测到基板贴装异常时，控制器获取异常位置信息，并控制移动组件驱动标记组件移动至异常位置，并通过标记组件在异常位置做出异常标记。加热装置设置四个加热区域，极大缩短基板加热的时间，进而提高设备的生产效率。检测组件检测出贴片异常的位置，再通过标记组件在片异常位置做标记，便于工作人员快速识别出贴片异常的位置。