吸气剂可电激活的红外探测器结构及其制造方法

本发明提供一种吸气剂可电激活的红外探测器结构及其制造方法，红外探测器结构包括探测器芯片晶圆以及封盖，探测器芯片晶圆包括电连接垫，封盖键合在探测器芯片晶圆上，封盖包括深腔、位于深腔底部的凸起、覆盖凸起表面的金属层、覆盖金属层部分表面的吸气剂层。本发明吸气剂层设置在封盖深腔底部的凸起的表面，大大增加了吸气剂层的表面积，以在不影响红外窗口尺寸的情况下提供足够的吸气剂的面积，提升了吸气剂的吸气能力；并且，本发明利用电连接垫使金属层通电，能够加热覆盖在金属层表面的吸气剂层，进而实现了吸气剂层的高温激活，且不影响探测器芯片上微桥阵列区域，大大提高了探测器热敏像元材料的性能，且吸气剂层可二次激活，改善探测器的真空度。