薄膜厚度在线测量方法、薄膜厚度预测模型的训练方法、装置、设备和存储介质

本公开提供了一种薄膜厚度在线测量方法、薄膜厚度预测模型的训练方法、装置、设备和存储介质。薄膜厚度在线测量方法包括：获取待测薄膜在T个加工时刻各自的初始反射光谱数据，初始反射光谱数据与待测薄膜在加工时刻的当前薄膜厚度相关联；对初始反射光谱数据进行预处理，得到目标反射光谱数据；将预设掩码数据和目标反射光谱数据输入至薄膜厚度预测模型，得到待测薄膜在加工时刻的当前薄膜厚度预测值及与当前薄膜厚度预测值相对应的第一置信度，薄膜厚度预测模型是基于自注意力模型和多层双向长短时记忆模型构建的；以及根据预设置信度阈值及T个加工时刻各自的当前薄膜厚度预测值和第一置信度，确定待测薄膜的薄膜厚度在线测量结果。