一种激光器芯片偏角检测装置及其使用方法

本发明涉及一种激光器芯片偏角检测装置及其使用方法，属于半导体激光器领域，测试底座上设置有滑轨，用于安装激光器托盘；标尺包括对标纸和标尺支架，对标纸上设置有对标图案，扫描模块用于出射扇形的光束，并照射至激光器托盘的整排激光器中，当光束照射到激光器芯片腔面后反射并照向标尺上，通过判断光斑是否落在各自的对标图案上判断是否偏角合格。本发明可将芯片偏角转换为反射光束光斑偏移，仅需观察光斑偏移情况，便可快速确认芯片偏角是否合格。该装置在激光器芯片固晶后即可快速、批量进行芯片偏角检测，具有较高效率及较低成本，适合在生产对激光方向有较高要求的产品时使用。