一种提高离子注入机晶圆传输效率的传输系统

本发明公开了一种提高离子注入机晶圆传输效率的传输系统，属于晶圆传输系统技术领域，其包括：准备工装模块，其内部划分有多个工装工位，所述工装工位处均设置有承载机构；装载口模块，设置在准备工装模块的相对前方，所述装载口模块为排列分布的多个；悬挂取送臂，架设在各所述装载口模块的相对上方，所述装载口模块中设有物料运输系统；本发明中尤其承载机构采用的脉冲气流动作能够检测晶圆夹持稳定性，从而识别判断真空机械手组件能否对晶圆安全性翻转、运移，以便晶圆从前置转运移载模块输送至后置转运移载模块时直接略过临时载台模块，减少不必要重复动作，从而提高传输效率。