基于神经网络的匀胶显影机显影液更换方法

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基于神经网络的匀胶显影机显影液更换方法
申请号:CN202410993724
申请日期:2024-07-24
公开号:CN118519320B
公开日期:2024-11-19
类型:发明专利
摘要
本申请涉及显影机显影液检测技术领域,具体涉及基于神经网络的匀胶显影机显影液更换方法,该方法包括:对于各次显影,采集显影持续时间、温度检测向量和检测三维模型;获取第一检测三维体素化模型和标准体素化模型;根据第一检测三维体素化模型和标准体素化模型中体素块的三维坐标计算各次显影的平均显影深度,结合相邻显影的平均显影深度获得显影消耗估计值;结合显影消耗估计值和温度检测向量获得各次显影的特征增强温度信号;根据所有显影的特征增强温度信号、平均显影深度和显影消耗估计值,获得当前显影的显影液更换结果,提高显影液的更换效率。
技术关键词
显影液 更换方法 显影机 信号 残留液 三维模型 序列 频率 矩阵 后晶圆表面 坐标 神经网络训练 元素 重构算法 周期 邻域 特征值 数据 标签
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