衬底处理系统

本发明的衬底处理系统具备设置着架的移载装置、批量处理装置及单片处理装置。移载装置、单片处理装置及批量处理装置依次呈直线状配置成一列。批量处理装置例如具备第1批量搬送机构，所述第1批量搬送机构向批量处理槽一次搬送多片衬底。第1批量搬送机构在移载装置一侧接收已转换成铅垂姿势的多片衬底，并例如直接搬送到批量处理槽而不使用单片处理装置的衬底搬送机器人。