一种基于石墨烯的芯片电磁屏蔽结构

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一种基于石墨烯的芯片电磁屏蔽结构
申请号:CN202411007252
申请日期:2024-07-25
公开号:CN118943125A
公开日期:2024-11-12
类型:发明专利
摘要
本发明涉及电磁屏蔽技术领域,具体为一种基于石墨烯的芯片电磁屏蔽结构,包括盖板、管壳和芯片,管壳呈上方开口结构,芯片固定于管壳内部,盖板设置于管壳的开口处,盖板包括盖板基座和薄膜,薄膜设置于盖板基座朝向管壳内部的下表面上;薄膜由石墨烯材料制成,薄膜的方阻为400Ω/sq,薄膜的厚度小于10μm。本发明利用盖板上的石墨烯的高吸波特性和二维平面结构特性,屏蔽电磁波,保护芯片免受外界环境影响及屏蔽腔体自身谐振特性影响。
技术关键词
芯片电磁屏蔽结构 盖板基座 管壳 薄膜 阶段 石墨烯材料 铁镍合金材料 二维平面结构 电磁屏蔽技术 聚甲基丙烯酸甲酯 开口结构 氢气 甲烷 保温 气相沉积法 保护芯片 氩气气氛
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