摘要
本发明涉及一种高通量气体传感测试方法及装置,属于气体传感器技术技术领域。本发明的高通量气体传感测试装置包括主机架、继电器模块、电源模块、源表、气体测试腔室、气体传感芯片,气体传感芯片由多个、多种气敏材料在一块基片上按预设方案组成可寻址的气敏元件阵列,与继电器模块、电源模块、源表联通,构成电路回路,继电器模块中的可编程多路继电器控制气敏元件阵列电路有序闭合与断开,通过单通道源表实时、有序采集阵列输出电流信号,通过数据处理将电流信号转换成气体响应度值,从而实现高通量气体传感测试。本发明可在单通道源表上实现多组材料的气敏性能同步测试。
技术关键词
气体传感芯片
继电器模块
传感测试装置
传感测试方法
气敏元件
高通量
继电器开关
电源模块
主机架
腔室
电流
气体传感器技术
信号
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气敏材料
阵列
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