多带通的匹配器及等离子体产生装置

本申请公开了多带通的匹配器及等离子体产生装置，本申请涉及电源技术领域，多带通的匹配器包括：多个带通滤波电路，多个带通滤波电路中的至少两个相互并联，多个带通滤波电路中的任意两者的频率范围不同；阻抗匹配电路，阻抗匹配电路的输入端与带通滤波电路的输出端连接，阻抗匹配电路用于实现负载阻抗与滤波器输出阻抗的匹配。本申请通过将多个带通滤波电路中的至少两个相互并联，且多个带通滤波电路中的任意两者的频率范围不同，再将阻抗匹配电路的输入端与带通滤波电路的输出端连接，从而实现负载阻抗与滤波器输出阻抗在不同带通下的匹配，能够适应不同频段信号的传输需求，提高多频段信号的处理效率，提高了等离子体产生效率与稳定性。