多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置

本申请公开了多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置，本申请涉及电源技术领域，多段阻抗的匹配器电路包括：输入接口，输入接口用于输入待匹配信号；控制电路，控制电路的第一输入端与输入接口连接，控制电路用于检测待匹配信号的频率和功率，并输出对应的调节信号；至少一个阻抗调节电路，阻抗调节电路的输入端与输入接口连接，阻抗调节电路的受控端与控制电路的输出端连接，阻抗调节电路用于根据调节信号，调节阻抗值。本申请能够实现对不同频率和功率的信号的自适应阻抗匹配，满足不同应用场景的需求。