微能源芯片及其构成的微能源芯片组件、换热器

一种微能源芯片及其构成的微能源芯片组件及换热器。所述微能源芯片包括一对第一贯通孔；一对第二贯通孔；第一换热面，包括一换热区、连通第一贯通孔与所述第一换热区的第一进出口区、位于所述第二贯通孔与所述第一换热区之间的第一围坝；第二换热面，包括第二换热区、连通第二贯通孔与所述第二换热区的第二进出口区、位于所述第一贯通孔与所述第二换热区之间的第二围坝；其中，所述第二换热区、第二进出口区、第二围坝分别与所述第一换热区、第一围坝、第一进出口区沿微能源芯片的厚度方向对齐。本发明在两个换热面分别设置第一换热区、第二换热区，因此可以从微能源芯片的两面同时蚀刻，能够缩短蚀刻时间，提高制作效率。