一种高精度的恒温控制系统及控制方法

本发明涉及高精度温度控制技术领域，具体涉及一种高精度的恒温控制系统及控制方法；包括主控模块、继电器、直流电源、执行机构、被控对象、温度传感器和温度采集模块，采用高精度铂电阻传感器作为温度传感器和真空沉积的薄膜技术，再设计多层膜铂电阻结构，然后使用温度采集模块；接着控制模块根据采集到的当前温度值，通过模糊PID算法计算出半导体制冷器中的帕尔贴需要加热或制冷的时长；当模糊PID算法计算出的值为正值时，对帕尔贴进行加热；当模糊PID算法计算出的值为负值时，对帕尔贴制冷，最终使系统温度稳定；实现了对水温的精确控制，显著提高了芯片清洗过程的效率和芯片质量。