一种多层微显示芯片及其制备方法

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一种多层微显示芯片及其制备方法
申请号:CN202411013391
申请日期:2024-07-26
公开号:CN118867099A
公开日期:2024-10-29
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种多层微显示芯片及其制备方法,该芯片包括驱动晶圆和至少两层像素层,驱动晶圆上设置有阳极触点;全部像素层在驱动晶圆上沿Z方向依次堆叠设置,每个像素层中至少设置有一个子像素,每个子像素靠近驱动晶圆的一侧均设置有键合金属件,上层像素层中子像素的键合金属件由穿过下方像素层的阳极连接件电连接至对应的阳极触点,上层像素层中子像素的键合金属件具有第一接触面,第一接触面为非平坦表面,第一接触面嵌入阳极连接件所在的像素层中并与阳极连接件相接触,或者阳极连接件嵌入第一接触面中。本发明还公开了一种上述芯片的制备方法。本发明使得键合金属件和阳极连接件充分接触,从而有效保证了阳极电流传输的可靠性。
技术关键词
像素 阳极 接触面 芯片 中子 触点 绝缘本体 半导体层 阴极层 透镜 导电金属件 晶圆 颜色 圆顶 电流 间距
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