摘要
本发明公开了一种集成超构透镜的红外彩色焦平面探测器,在平面结构红外焦平面探测器的衬底上制备具有宽谱分离聚焦功能的红外超构透镜,入射的宽谱红外光透过红外超构透镜后发生谱段分离,不同谱段的红外光在衬底内分别汇聚至超像素的第一亚像元、第二亚像元和第三亚像元。三个亚像元独立输出探测信号,利用图像合成方法获得红外彩色图像。该探测器具有工作谱段宽、信号串扰小、能量损失少、集成度高,利用红外超构透镜与平面结构红外探测芯片获得红外彩色图像的优点。
技术关键词
超构透镜
红外焦平面探测器
红外光
周期性
表面微纳结构
彩色图像
波长
红外探测芯片
衬底
光电探测器
刻蚀工艺
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多波段
像素
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信号
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