摘要
本申请涉及半导体封装技术领域,具体公开了一种封装结构,包括基板以及设置在基板上的芯片;所述基板表面设置有陶瓷膜层,所述基板上设置有包裹芯片的金属隔离层,所述金属隔离层与陶瓷膜层连接形成容置所述芯片的气密性腔室。本申请能够对芯片提供气密性封装,有效提升器件的稳定可靠性。
技术关键词
封装结构
声学器件
陶瓷膜
基板
芯片
导热结构
焊盘
半导体封装技术
金属结构
表面波器件
声波器件
包裹
腔室
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