封装结构

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封装结构
申请号:CN202411019488
申请日期:2024-07-26
公开号:CN118971823A
公开日期:2024-11-15
类型:发明专利
摘要
本申请涉及半导体封装技术领域,具体公开了一种封装结构,包括基板以及设置在基板上的芯片;所述基板表面设置有陶瓷膜层,所述基板上设置有包裹芯片的金属隔离层,所述金属隔离层与陶瓷膜层连接形成容置所述芯片的气密性腔室。本申请能够对芯片提供气密性封装,有效提升器件的稳定可靠性。
技术关键词
封装结构 声学器件 陶瓷膜 基板 芯片 导热结构 焊盘 半导体封装技术 金属结构 表面波器件 声波器件 包裹 腔室 通孔 激光
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