一种红外图像传感器晶圆响应率测试系统及方法

本发明涉及提供一种红外图像传感器晶圆芯片响应率测试系统及方法，本发明通过设置黑体组件进行多种层次温度的采集，同时通过获取红外图像传感器晶圆中芯片所有像素的响应率以及获取红外图像传感器晶圆中芯片的平均响应率，可以方便对晶圆上芯片进行晶圆响应率进行测试，测试更精细和准确，测试效率更高，同时，可以直接对晶圆上的芯片进行测试，提高了测试效率。