一种电容式开关电源转换器封装结构及其制备方法

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种电容式开关电源转换器封装结构及其制备方法，封装结构包括IPD晶圆和SCVR层，IPD晶圆包括多个DTC芯片第一介质层；每个DTC芯片表面包括多个第一金属焊盘；第一金属焊盘暴露在IPD晶圆的表面；SCVR层包括至少一个SCVR芯片；SCVR芯片包括多个第二金属焊盘和第二介质层，第二金属焊盘和第二介质层位于IPD晶圆一侧表面；IPD晶圆与SCVR层通过混合键合连接成一体结构，第一介质层与第二介质层接触并键合连接，第一金属焊盘和第二金属焊盘一一对应接触并键合连接。本发明可以减少DTC电容的占用面积，减少封装结构的体积，提高封装结构的集成度、稳定性和可靠性。