发光二极管芯片及其制备方法

本公开提供了一种发光二极管芯片及其制备方法，属于半导体技术领域。发光二极管芯片包括外延层和防水膜；防水膜包括中间层和疏水层，中间层为硅的氧化物层，中间层覆盖在外延层外，疏水层为含氟硅烷层，疏水层覆盖在中间层背向外延层的一面。本公开可以有效的提高发光二极管芯片的防水能力。