摘要
本发明提供一种LED外延片及其制备方法、LED芯片,属于半导体器件领域,其中LED外延片包括N型半导体层、应力释放层和发光层,所述发光层为周期性交叠结构,包括第一发光子层和第二发光子层,所述第一发光子层包括依次层叠设置的AlxGa(1‑x)N层、InGaN层和所述AlxGa(1‑x)N层,所述第二发光子层为GaN层,所述第一发光子层的厚度小于所述第二发光子层的厚度,所述AlxGa(1‑x)N层的厚度小于所述InGaN层的厚度,0<X<1,所述AlxGa(1‑x)N层中Al组分的百分比为10%‑90%。本发明中的LED外延片解决了现有技术中的LED外延片的发光效果差的问题。
技术关键词
LED外延片
半导体层
交叠结构
LED芯片
发光层
半成品
电子阻挡层
MOCVD设备
应力
层叠
周期性
GaN层
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