摘要
本发明实施例提出一种Micro‑LED芯片的光隔离薄膜及其制备方法,涉及半导体显示技术领域,方法包括:对目标基板进行光刻处理,得到目标凹模板;向目标凹模板内浇注有机硅聚合物,固化形成目标凸模板,目标凸模板包括基底和多个位于基底上的印章柱;涂覆含有吸光或散射粒子的有机聚合物溶剂至基底上,形成厚度小于等于印章柱相对于基底表面的高度的有机聚合物薄膜;剥离有机聚合物薄膜,得到目标光隔离薄膜。如此将目标光隔离薄膜的制备代替传统复杂的光刻工艺,利用目标光隔离薄膜上通孔遮住测避光,减少有效光的遮挡,降低光能损耗;同时有机聚合物溶剂涂覆过程中可以随意调整涂覆厚度,以便于灵活调整目标光隔离薄膜的厚度。
技术关键词
聚合物薄膜
LED芯片
凹模板
基底
水溶性聚合物
印章
凸模板
半导体显示技术
有机硅
涂覆
粒子
二甲基甲酰胺
二甲基亚砜
光刻工艺
基板
光能
损耗
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