一种双XY平台的运动定位控制方法及系统

本发明涉及平台运动解耦控制领域，具体为一种双XY平台的运动定位控制方法及系统，所述方法包括：对双XY平台进行三维建模，获取所述双XY平台三维模型的双输入双输出模型传递函数矩阵；采用相对增益阵列分析双输入双输出模型之间的耦合关系，并基于耦合关系确定双XY平台的控制方案；基于所述双输入双输出模型传递函数矩阵构建解耦控制模型；基于所述解耦控制模型对双XY平台进行运动定位控制。本发明提出了采用解耦补偿器和输出变换矩阵的方式实现双边驱动解耦成系统控制，同时考虑到X轴滑块位置参数变化，将解耦补偿器和输出变换矩阵设计成与X轴滑块位置参数相关，在不同的参数变化条件下实现了双XY运动平台的精确控制。