用于测量气体的浓度的热导率传感器

一种测量气体的浓度的热导率传感器，该传感器包括：基板部分；设置在基板部分上的中间层；设置在中间层上的半导体层；以及包括介电膜的介电层，介电膜设置有加热器；其中，介电膜位于间隙上方，该间隙位于半导体层中。还描述了制造热导率传感器的方法。