摘要
本申请涉及半导体分离器件生产的技术领域,具体公开了一种轴向超薄芯片产品制造方法。一种轴向超薄芯片产品制造方法,包括以下步骤:S1、晶圆片选择:选择电阻率为15‑23Ω*cm,厚度为220‑240μm的单晶片作为待处理晶圆片;S2、晶圆片处理:对待处理晶圆片进行正面研磨、预扩散、背面研磨、硼扩散、双面研磨、表面金属化、划片处理,得到中间晶圆片;S3、封装:将中间晶圆片经焊接、酸洗、上胶、固化、模压、老化、回流焊、二次老化处理,得到半成品二极管。本申请制备得到的二极管具有气孔小、尺寸薄、风险低、抗应力能力优异以及耐焊接热能力优异等优点。
技术关键词
超薄芯片
金属化
二极管
半成品
焊接炉
单晶
扩散片
电阻
正面
半导体
磷酸
应力
风险
溶液
尺寸
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