盖玻璃结合方法、结合系统、真空组件系统装置和结合系统的控制方法
申请号：CN202411045082
申请日期：2024-08-01
公开号：CN119451494A
公开日期：2025-02-14
类型：发明专利
摘要
提供了盖玻璃结合方法、结合系统、真空组件系统装置和结合系统的控制方法。盖玻璃结合方法包括：在不使用载体玻璃的情况下将硅基有机发光二极管(OLEDoS)晶圆集中的每个晶圆对齐并且将OLEDoS晶圆集布置在真空组件系统(VAS)装置的上工作台VAS模块上；将环氧树脂绘制的盖玻璃布置在VAS装置的下工作台VAS模块上；将OLEDoS晶圆集与环氧树脂绘制的盖玻璃结合，其中，在VAS装置的上工作台VAS模块中单独地控制OLEDoS晶圆集中的每个晶圆的工作位置。
技术关键词
晶圆台
工作台
硅基有机发光二极管
系统模块
真空吸盘
对齐装置
视觉
玻璃
前端模块
环氧树脂
索引
驱动单元
驱动器
机械手
模块通信
基板
旋转机器人
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柔性工作台
焊接机器人
锂盐
焊接装置
传送台
撕膜定位机构
夹紧气缸
视觉检测机构
传输线
产品撕膜
上料一体机
木板码垛
抓取板材
回转机械臂
动力
焊接装置
活动架
装夹组件
工字钢
安装框
工作台机构
吊挂机构
导轨架
限位齿轮
分控模块
