摘要
本公开的实施例提供一种异质芯片封装方法和结构。方法包括:提供基板、布线模块和异质芯片;其中,异质芯片包括第一芯片和第二芯片;将第一芯片和第二芯片分别设置于布线模块,使第一芯片和第二芯片通过布线模块相互电连接,得到异质芯片组;塑封异质芯片组形成塑封层,并在塑封层中形成与布线模块电连接的塑封通孔;在塑封层背离第一载板的一面形成重布线层;在异质芯片组和塑封通孔背离重布线层的一面进行植球,得到第一芯片单元;将多个第一芯片单元依次堆叠设置于基板,使多个第一芯片单元以及基板通过塑封通孔相互电连接。本公开的实施例在堆叠提升芯片性能的同时,保持了对位精度和稳定性,达成了全方位的高效数据流通。
技术关键词
布线模块
芯片封装方法
异质
芯片封装结构
系统级芯片
基板
重布线层
通孔
导电柱
存储芯片
载板
对位精度
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