一种大面积掩模板的三维潜像计算方法和装置

本公开提供了一种大面积掩模板的三维潜像计算方法和装置。本公开的方法包括：构建样本掩膜板图案的样本局部特征图案和样本局部特征图案对应的三维潜像的训练集；根据训练集对生成对抗网络进行训练；基于第一分割方式将待处理的掩膜板图案进行图像分割，得到待处理局部特征图案；基于第二分割方式将待处理的掩膜板图案进行图像分割，得到扩张区域分割图案；将待处理局部特征图案输入训练好的生成对抗网络，以得到待处理局部特征图案对应的三维潜像；根据扩张区域分割图案对待处理局部特征图案对应的三维潜像进行拼接，得到待处理的掩膜板图案的三维潜像。本公开结合GAN网络、图像分割与拼接，完成大面积掩膜板的三维潜像仿真，提高仿真效率。