玻璃内部残余应力三维测量装置和测量方法

一种玻璃内部残余应力三维测量装置和测量方法，包括：照明系统、二维扫描系统、暗场产生系统、待测样品和数据采集系统。照明系统由光源和准直系统组成，为待测样品提供照明；二维扫描系统是一个可以二维移动的小孔；暗场产生系统由两个通光方向互相垂直的线性偏振器件组成，可以同步转动；待测样品为透明的光学元件，置于暗场产生系统中；数据采集系统用来记录实验数据；配套算法，开发一种三维偏振叠层衍射成像技术，三维重建待测元件中的残余应力分布。本发明提出的三维应力测量方法操作方便，计算结果精度高，可满足大口径光学元件内部残余应力的三维测量。