膜厚测量模型的训练方法、薄膜厚度的测量方法、装置、设备、介质、产品

本申请提出了一种薄膜厚度的测量方法、装置、设备、介质和产品，该方法包括：获取待测薄膜的折射率、反射率，并基于扫描干涉法获取待测薄膜的膜厚预测量值和校准值；将待测薄膜的折射率、反射率、膜厚预测量值和校准值输入到膜厚测量模型，以得到待测薄膜的厚度值。本申请还提出了一种膜厚测量模型的训练方法，该方法包括：提供多个不同的薄膜样品，获取每个薄膜样品的膜厚标准值、折射率和反射率；基于扫描干涉法获取每个薄膜样品的膜厚预测量值和校准值；将薄膜样品的折射率、反射率、膜厚预测量值和校准值作为样本输入值，薄膜样品的膜厚标准值作为样本输出值，训练膜厚测量模型。上述方法能够精确测量薄膜厚度，特别是极薄薄膜。