用于透明基板平台的标定方法、透明基板翘曲检测方法

本发明涉及属于集成电路行业先进封装测试技术领域，公开了一种用于透明基板平台的标定方法、透明基板翘曲检测方法，用于在进行透明基板曲翘度检测前对承载透明基板的平台表面的平台基准面进行标定，包括：S1、定义测量仪基准面；S2、定义需要检测的所述平台的中心测量点，并通过测量仪测量所述中心测量点的第一平台测量高度值；S3、通过测量仪依次测量围绕所述中心测量点V个方向的旁测量点的第二平台测量高度值；S4、将V个第二平台测量高度值和第一平台测量高度值进行算术平均得到的平台高度平均值作为该中心测量点所在平台的平台基准面到测量仪基准面的高度值。本发明提供了的方法，能够准确的检测出玻璃基板翘曲情况。