一种晶圆缺陷检出方法及相关设备

本申请涉及一种晶圆缺陷检出方法及相关设备，方法包括：获取包含有待测晶圆的缺陷的拍摄图像；在拍摄图像中未包含标注时，基于预设深度学习网络得到缺陷的类型和参数信息；在拍摄图像中包含有标注时，利用拍摄图像对预设深度学习网络进行增量训练，获得新的预设深度学习网络，并得到缺陷的类型和参数信息；基于类型对应的检出范围和参数信息，确定缺陷的检出情况；基于检出情况，确定待测晶圆的检出缺陷。这样，能够不断地提升深度学习算法对晶圆缺陷的检出能力，提高晶圆缺陷良好的在线检出效果。