一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法

本申请属于光刻及神经网络领域，具体公开了一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法，包括：将待测套刻标记的物镜后焦面频域像做偏振差分，得到所述待测套刻标记对应的目标图像；将所述目标图像输入到训练完成的误差提取网络中，得到所述待测套刻标记的套刻误差值；其中，所述误差提取网络是基于训练样本和所述训练样本对应的识别标签进行训练得到的；所述训练样本是利用套刻标记的纳米结构形貌参数、材料光学常数结合预审测量条件，并通过已建立的套刻标记正向光学特性模型进行偏振得到的。通过本申请能够提高套刻误差提取的准确度。