一种CVD金刚石生长设备中的数据采集与远程控制系统

本发明公开了一种CVD金刚石生长设备中的数据采集与远程控制系统，涉及金刚石生长技术领域，安装不同类型的传感器，使传感器应覆盖反应室的关键区域，实时收集反应室内的各项参数，确保数据的全面性和准确性，将传感器收集到的原始数据传输至数据采集系统进行预处理，提高数据的质量和一致性，为后续分析提供基础。本发明通过动态调整气体流量采集频率，适应不同化学反应速率，确保快速反应时及时调节气体流量，防止沉积速率不稳定，提高金刚石生长的质量和一致性，智能调节避免低速反应时高频采集，减少系统响应迟滞和误操作，优化资源利用，提高生产效率，降低能耗和成本，延长设备寿命，增强生产过程的可持续性和经济性。