传感器芯片结构、传感器芯片制备方法及气体传感器

本发明提供了一种气体传感器芯片结构、传感器芯片制备方法及气体传感器，该结构包括基底、电极组件和气敏膜；所述电极组件包括第一叉状电极和第二叉状电极，所述第一叉状电极和所述第二叉状电极均设置在基底上，所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间存在位面差；所述气敏膜设置在所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间，能够保证气敏膜维持较小体积的前提下，提高所述第一叉状电极和第二叉状电极的连接稳定性，降低气敏膜的厚度控制难度，同时提高响应速度。