摘要
提出一种用于校准激光加工系统的方法,所述激光加工系统具有扫描仪设备并且具有观察设备,该扫描仪设备用于将激光射束偏转到在表面上的多个位置上,该观察设备的观察射束路径与激光射束路径同轴地延伸通过扫描仪设备,所述方法包括扫描仪设备的校准和观察设备的校准,以及提出一种借助激光射束加工工件的激光加工系统,该激光加工系统包括控制装置,该控制装置设立为用于执行该方法。
技术关键词
扫描仪设备
观察设备
校准板
激光
标记
图像校准
图像失真校正
数据校正
图案特征
同轴地
像素
数学模型
坐标系
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