一种能够精准快速控温的微流控芯片

本发明提供了一种能够精准快速控温的微流控芯片，包括从下而上依次固定连接的衬底层、器件层、绝缘层和疏水层，器件层内设有微流控液滴驱动阵列和电学接口，微流控液滴驱动阵列内设有用于驱动液滴运动的多个液滴驱动像素单元、金属薄膜加热器和温度传感器，多个液滴驱动像素单元阵列设置在器件层内，金属薄膜加热器围合成一片上温区，温度传感器设置于片上温区中心处，片上温区与液滴驱动像素单元所形成的阵列相配合，温度传感器内设有双栅薄膜晶体管TFT1和双栅薄膜晶体管TFT2。本发明的有益效果为：能够实现精准控温、快速控温的功能，结构简单，操作方便，提高了集成度，降低了生产成本，提高了最终检测结果的准确性和时效性。