摘要
本申请涉及芯片加电压紧结构及芯片测试设备,探针座设有用于放置待测试芯片以备测试的测试区,且探针座包括主体及与主体相连接的凸台,凸台设置为在探针座放置待测试芯片的状态下,于测试区中抵接待测试芯片并压紧,且于压紧状态下,主体及凸台中的至少一项发生弹性形变;芯片加电压紧结构于主体上形成有空槽;加电探针限位设置于主体中,且部分位于空槽中,加电探针具有位于测试区中的接触端,且接触端设置为在凸台压紧待测试芯片的状态下,抵接待测试芯片的加电位置。在保证压紧效果的前提下,保护了待测试芯片,避免因压力太大导致在测试工序中损坏待测试芯片;在加电测试过程中,有利于提升加电探针的散热能力,延长了加电探针的使用寿命。
技术关键词
探针座
芯片测试设备
弹性复位件
电压
载体
导向柱
底板
凸台
作用力
台阶
结构件
运动
导电
压力
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